國立屏東科技大學
可移轉專利技術摘要

本發明提供一種太陽能電池之多晶矽質薄膜的製造方法。在第一階段，先利用奈米厚度鋁金屬薄膜誘發非晶矽質薄膜，使其在較低製程溫度下達到高品質多晶矽質薄膜。在第二階段，利用第一階段誘發生成的多晶矽質薄膜作為晶種層，使其誘發出更厚之非晶矽質薄膜成為多晶矽質薄膜，因此可有效地降低製程所需之熱預算。