國立屏東科技大學
可移轉專利技術摘要

一種可改變承載溫度之載台包含一基座、一導流模組、至少一導管及一承載板，該導流模組及該導管設置於該基座的一容置空間中，該導流模組包含複數個隔板，該些隔板活動地相接合並圈圍形成複數個艙室於該容置空間中，藉由選擇性地拆離部分的該些隔板，使該些艙室可選擇性地連通，以構成可改變一流體流向的至少一流道，該導管用以連接一負壓源(如抽氣泵等)，使覆蓋該容置空間的該承載板形成有一吸力，以吸附一電子元件，藉由選擇性地接合及/或拆離部分的該些隔板所構成的該流道，使該載台可因應該電子元件的溫度需求，調整該載台的一承載溫度。