專利名稱
晶片層間強度測試裝置
專利證號
I334028
專利國別
中華民國
發明人代表
盧威華
專利技術摘要
一種晶片層間強度測試裝置,其包含一檢測平台、一第一塗測平台及一第二塗測平台。該檢測平台具有互相平行之一第一表面及一第二表面,以供二待測晶片藉由一膠材黏附;該第一塗測平台鄰近該檢測平台之第一表面,並以膠材黏著於該第一表面之待測晶片上;該第二塗測平台鄰近於該檢測平台之第二表面,並以膠材黏著於該第二表面之待測晶片上。待該膠材黏合固定於該二待測晶片之後,拉動該檢測平台,測量並紀錄該二待測晶片之各層間之強度,當該待測晶片並未毀損,則紀錄該待測晶片之強度符合規格。