國立屏東科技大學
可移轉專利技術摘要

本發明提供一種晶圓之銅墊表面鍍錫方法，其包含：提供一晶圓，其表面具有數個銅墊；在該晶圓之表面形成一金屬薄層，以電性連接所有該銅墊且裸露各該銅墊之部份表面；形成一光阻層於該金屬薄層上，並圖案化該光阻層，以形成數個開口裸露該銅墊上之金屬薄層；化學浸鍍處理該金屬薄層裸露出的銅墊部份表面，將該銅墊之部份表面置換成一錫層，並使該錫層沈積至該金屬薄層上方；去除該光阻層；以及，去除未受該錫層遮蔽之金屬薄層。